Мембранні вакуумні насоси – це коливальні насоси з позитивним переміщенням. Діафрагми генерують вакуум, розширюючи об’єм у вакуумній камері, що, в свою чергу, зменшує тиск у вакуумній камері, таким чином, спричиняючи натискання атмосферного тиску в камеру. Потім повітря в цій камері виштовхується з вакуумної камери іншим шляхом (випуск газу) за допомогою клапанів. Ці періодичні рухи діафрагми генерують вакуум на вході насоса. Слід звернути увагу на роботу з газовими сумішами, що містять конденсуються гази, наприклад пари води або розчинників.