Традиційно з розвитком нових вакуумних технологій з’являються нові вимоги і сьогодні однією з необхідних умов може бути жорстка вимога відсутності в насосі контакту мастила з газовим середовищем, що відкачується. Існує кілька типів насосів такі як, гвинтові насоси, спіральні насоси, кігті насоси. Ці насоси об’єднуються в групі безмасляних форвакуумні насосів, так само їх називають сухими форвакуумными насосами.

Сухі вакуумні насоси дозволяють реалізувати безліч технологічних процесів, в яких не допускається не тільки наявність мастила, але і його парів. Технічна реалізація сухого вакуумного насоса залишається нелегким завданням, і тому сухі насоси коштують значно дорожче традиційних насосів з масляним ущільненням.