Основний робочий елемент будь-якої вакуумної системи – насос. Вакуумний насос служить для створення вакууму в ємності. Вакуумні насоси в залежності від конструкції і принципу роботи підрозділяються на механічні, криогенні, іонні, сорбційні.

Механічні насоси, в свою чергу, бувають об’ємні (водокільцеві або роторні) і молекулярні. У вакуумних системах різних типів застосовуються різні види насосів, тому пристрій і робота конкретної системи залежить від її призначення і пов’язаного з ним вибору насоса.