Мембранные вакуумные насосы — это колебательные насосы с положительным перемещением. Диафрагмы генерируют вакуум, расширяя объем в вакуумной камере, что, в свою очередь, уменьшает давление в вакуумной камере, таким образом, вызывая нажатия атмосферного давления в камеру. Затем воздух в этой камере выталкивается из вакуумной камеры другим путем (выпуск газа) с помощью клапанов. Эти периодические движения диафрагмы генерируют вакуум на входе насоса. Следует обратить внимание на работу с газовыми смесями, содержащими конденсируются газы, например пары воды или растворителей.