Традиционно с развитием новых вакуумных технологий появляются новые требования и сегодня одним из необходимых условий может быть жесткое требование отсутствия в насосе контакта масла с газовой средой, что откачивается. Существует несколько типов насосов такие как, винтовые насосы, спиральные насосы, когти насосы. Эти насосы объединяются в группе безмасляных форвакуумных насосов, так же их называют сухими форвакуумными насосами.

Сухие вакуумные насосы позволяют реализовать множество технологических процессов, в которых не допускается не только наличие масла, но и его паров. Техническая реализация сухого вакуумного насоса остается нелегкой задачей, и поэтому сухие насосы стоят значительно дороже традиционных насосов с масляным уплотнением.