Основной рабочий элемент любой вакуумной системы — насос. Вакуумный насос служит для создания вакуума в емкости. Вакуумные насосы в зависимости от конструкции и принципа работы подразделяются на механические, криогенные, ионные, сорбционные.

Механические насосы, в свою очередь, бывают объемные (водокольцевые или роторные) и молекулярные. В вакуумных системах различных типов применяются различные виды насосов, поэтому устройство и работа конкретной системы зависит от ее назначения и связанного с ним выбора насоса.

Самым распространенным видом вакуумных насосов является механический водокольцевой и пластинчато-роторный насосы, также широко распространены бустерные (насосы Рутса) и высоковакуумные (паромасляные-диффузные и турбомолекулярные) насосы.